ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ МЕЗА-ТИПА
В ДАТЧИКАХ ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И КОНТРОЛЯ

Баринов Илья Николаевич, кандидат технических наук, начальник отдела, Научно-исследовательский институт физических измерений, mzungu@inbox.ru
Волков Вадим Сергеевич, кандидат технических наук, старший научный сотрудник, Научно-исследовательский институт физических измерений, distorsion@rambler.ru

621.3.032

Рассмотрено применение поликремниевых тензорезисторов мезатипа для создания датчиков давления. Предложена конструкция чувствительного элемента, позволяющая улучшить характеристики датчиков давления.

Ключевые слова

 датчик давления, тензорезистор, поликристаллический кремний, мезаструктура.

 Скачать статью в формате PDF

1. Гридчин, В. А. Проектирование кремниевых интегральных тензопреобразователей с квадратными упругими элементами / В. А. Гридчин // Сборник научных трудов НЭТИ. – Новосибирск, 1985. – С. 97.
2. Баринов, И. Н. Применение поликристаллического алмаза в качестве чувствительного элемента / И. Н. Баринов, В. Ю. Дарвин // Отраслевые аспекты технических наук. – 2012. – № 5. – С. 21–23.
3. Любимский, В. М. Особенности деформации резистора в виде мезастpуктуpы / В. М. Любимский // Нано- и микросистемная техника. – 2007. – № 2. – C. 47–53.
4. Исследование конструктивно-технологических решений для создания высокостабильных и высокотемпературных датчиков давления : отчет о НИР / В. М. Любимский, В. А. Гридчин, А. В. Шапорин, В. А. Колчужин, А. В. Гридчин, О. В. Лобач, А. П. Лисофенко, В. П. Юрьев, Н. А. Усова ; Новосиб. гос. техн. ун-т ; рук. В. А. Гридчин. – Новосибирск, 2006. − 106 с.
5. Сергеев, В. С. Напряжения и деформации в элементах микросхем / В. С. Сергеев, О. А. Кузнецов, Н. П. Захаров, В. А. Летагин. – М. : Радио и связь, 1987. – 88 с.
6. Концевой, Ю. А. Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур / Ю.А.Концевой, Ю. М. Литвинов, Э. А. Фаттахов. – М. : Радио и связь, 1982. – 240 с.
7. Палатник, Л. С. Материаловедение в микроэлектронике / Л. С. Палатник, В. К. Сорокин. – М. : Энергия, 1978. – 280 с.
8. Пат. 2310176 Российская Федерация. Полупроводниковый преобразователь давления / Баринов И.Н., Козин С. А., Цибизов П. Н.